一、激光參數(shù)

• 波長(zhǎng)：不同波長(zhǎng)的激光對(duì)碳化硅材料的吸收率不同。例如水導(dǎo)激光切割，由于水對(duì)激光吸收程度有差異，激光波長(zhǎng)受限，常用的是 1064nm、532nm、355nm 三種。不合適的波長(zhǎng)，會(huì)降低能量利用率，導(dǎo)致切割不順暢，影響切割面的平整度與質(zhì)量。
• 脈沖寬度：在隱形切割技術(shù)里，納秒脈沖激光用于碳化硅加工時(shí)，因脈沖持續(xù)時(shí)間遠(yuǎn)長(zhǎng)于碳化硅中電子和聲子之間的耦合時(shí)間（皮秒量級(jí)），產(chǎn)生了嚴(yán)重?zé)嵝?yīng)，致使晶圓分離偏離方向、殘余應(yīng)力大，切割質(zhì)量大打折扣；而超短脈沖激光就能降低熱效應(yīng)，提升切割精度。
• 功率：功率不足，激光能量難以有效破壞碳化硅的原子鍵，切割無(wú)法順利推進(jìn)，會(huì)造成切割面粗糙、切口不整齊；功率過(guò)高，則可能引發(fā)過(guò)度的熱積累，使材料產(chǎn)生熱變形、熱損傷，出現(xiàn)微裂紋等缺陷，同樣影響切割質(zhì)量。

二、切割工藝

• 切割方式：像水導(dǎo)激光切割，靠高壓水射流引導(dǎo)激光加工，水流的穩(wěn)定性極為關(guān)鍵，不穩(wěn)定水流會(huì)讓激光光路偏移，切割線就可能出現(xiàn)彎曲，影響切割精度；隱形切割是在晶片內(nèi)部形成改性層來(lái)剝離晶圓，若改性層形成的位置、厚度控制不好，也會(huì)導(dǎo)致晶圓分離失敗或產(chǎn)生額外損傷。
• 切割速度：切割速度過(guò)快，激光作用時(shí)間短，材料不能充分吸收能量完成切割，容易出現(xiàn)切不透、邊緣鋸齒狀的情況；速度過(guò)慢，熱積累過(guò)多，熱影響區(qū)擴(kuò)大，會(huì)造成碳化硅材料性能劣化，降低切割質(zhì)量。

三、材料特性

• 硬度與脆性：碳化硅莫氏硬度高達(dá) 9.5 級(jí)，又兼具脆性。過(guò)硬的質(zhì)地使得激光切割難度增大，需要更高能量去破壞其原子鍵；脆性則意味著在切割過(guò)程中，一旦受到稍大一點(diǎn)的應(yīng)力沖擊，哪怕是激光產(chǎn)生的熱應(yīng)力，都極易產(chǎn)生裂紋，降低切割成品的良率。
• 晶體結(jié)構(gòu)：碳化硅的晶體結(jié)構(gòu)影響激光能量的吸收與傳導(dǎo)。不同晶型的碳化硅，原子排列方式不同，對(duì)激光的響應(yīng)也存在差異，若切割工藝沒(méi)針對(duì)晶體結(jié)構(gòu)優(yōu)化，會(huì)出現(xiàn)切割不均勻、局部過(guò)熱等問(wèn)題。

四、輔助工藝及環(huán)境

• 冷卻條件：水導(dǎo)激光切割中，水流不僅能引導(dǎo)激光，還起到冷卻作用。缺乏良好冷卻，切割區(qū)域溫度過(guò)高，熱變形、熱損傷會(huì)加?。黄渌す馇懈罘绞较?，如果沒(méi)有合適的風(fēng)冷、液冷輔助，也很難保證切割質(zhì)量穩(wěn)定。
• 加工環(huán)境穩(wěn)定性：環(huán)境的溫度、濕度、振動(dòng)情況等都會(huì)干擾激光光路和設(shè)備運(yùn)行。溫度濕度變化可能使光學(xué)鏡片起霧、變形，影響激光聚焦效果；振動(dòng)則會(huì)讓激光光斑晃動(dòng)，致使切割精度受損。